虽然比起国外同行落后了差不多一年多，但好歹算是追上了。而且就现有的技术和理论来看，193nm将会成为很长一段时间内都无法突的光源。否则灯塔国那边也不会成立euv联盟，找寻新的出路了。

当然，对于如何跨越193nm，除了euv之外，也有其他的方案。譬如尼康和svg就在准备攻克157nm的hef2激光，以及电子束投(epl)，离子投(ipl)、甚至x光等等……

总之，就是解决的办法一箩筐，放眼望去全是路。

但具体哪一条是真正的正道，谁也不知道。

嗯，只有苏远山一个知道。

因为这些方案，都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子。

“林叔，赵叔，193nm之后你们的想法是什么？”坐到沙发上，苏远山端起茶杯抿了一。

赵凯东和林本坚对视了一眼，随后笑着道：“193nm看样子都要停留很久，你这么着急？”

“我本来是不着急的。”苏远山很坦白：“主要是老美那边搞euv，搞得我有点心慌。”

赵凯东便笑着摇了摇：“虽然说光源要比光刻机领先很多，但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上，你心慌也没用。”

“至于说下一代光源，其实我和老林并不十分看好157nm，因为hef2激光可以说要完全推翻现有的光路系统，非但物镜要重新搞，光刻胶也要重新研制……最主要的是，波长步进提升不大，且投产出比太高了。”

“euv，听起来很不错，有点下一代光源的意思。但你看euv联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”

苏远山便笑道：“有您二位在，咱们这实验室可不是小作坊。”

“呵呵，不管是不是，但设计师不是有句话吗？摸着石过河……既然前面有趟路了，那我们也脆摸着石过河就行了。”赵凯东笑道：“intel不是拉了那么多企业吗？你也可以拉一个嘛。”

苏远山：“……”

他算是听明白了，赵凯东的意思是，让他也搞个euv联盟。

苏远山倒是想搞，可现在要是搞的话，那就不是远芯主导，而是所有给霓国打工。

于是他便望向林本坚。

“林叔？你有什么妙招没有？”

（注：虽然有点枯燥，但……总归还是得写。。。）